基板冷热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210164107.0

申请日：

2012-05-24

公开(公告)号：

CN103426793A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

梁晓东

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

白振宇

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-14	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:沈阳芯源微电子设备有限公司变更后:沈阳芯源微电子设备股份有限公司变更事项:地址变更前:110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号变更后:110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
2013-12-04	公开	公开
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101558123786 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012101641070 申请日:20120524
2016-02-03	授权	授权

共 50 条

[1]

基板冷热处理装置 [P].

张存 .

中国专利 :CN112379579A ,2021-02-19

[2]

基板冷热处理装置 [P].

张存 .

中国专利 :CN214098110U ,2021-08-31

[3]

基板热处理装置 [P].

水永耕市 .

中国专利 :CN101840847B ,2010-09-22

[4]

基板的热处理装置及方法以及基板的接收单元 [P].

斯特芬·穆勒 ;

海尔姆特·阿斯纳 ;

汤玛斯·凯勒 ;

威廉·凯格尔 ;

韦费德·莱尔希 .

中国专利 :CN108701629A ,2018-10-23

[5]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

中国专利 :CN106486397A ,2017-03-08

[6]

热处理方法以及热处理装置 [P].

谷村英昭 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN106340451A ,2017-01-18

[7]

热处理方法以及热处理装置 [P].

布施和彦 .

中国专利 :CN106158605A ,2016-11-23

[8]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

日本专利 :CN113574635B ,2025-01-14

[9]

热处理方法及热处理装置 [P].

上田晃颂 ;

布施和彦 .

日本专利 :CN111799171B ,2024-08-13

[10]

热处理装置及热处理方法 [P].

伊藤祯朗 .

中国专利 :CN109755158A ,2019-05-14

← 1 2 3 4 5 →