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一种晶圆搬运机械手位置教具及其示教方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111372451.4
申请日：
2021-11-18
公开(公告)号：
CN114188254A
公开(公告)日：
2022-03-15
发明(设计)人：
王英
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市常熟市东南街道东南大道1150号10-1幢
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
H01L2168
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
陈昊宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-15 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20211118 |