一种在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010147510.3

申请日：

2010-04-13

公开(公告)号：

CN101834127A

公开(公告)日：

2010-09-15

发明(设计)人：

梅增霞梁会力梁爽刘章龙李俊强侯尧楠刘尧平崔秀芝张生利杜小龙

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村南三街8号

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

尹振启

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101012082262 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2010101475103 申请日:20100413
2013-06-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101467323177 IPC(主分类):H01L 21/205 专利号:ZL2010101475103 申请日:20100413 授权公告日:20120118 终止日期:20120413
2010-09-15	公开	公开
2012-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种在铝酸镁衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法 [P].

杜小龙 ;

薛其坤 ;

贾金锋 ;

曾兆权 ;

袁洪涛 ;

英敏菊 ;

郑浩 .

中国专利 :CN1664988A ,2005-09-07

[2]

在铝酸镁衬底上高质量锌极性ZnO单晶薄膜的制备方法 [P].

杜小龙 ;

薛其坤 ;

贾金锋 ;

曾兆权 ;

袁洪涛 ;

张泽 ;

刘玉资 ;

黄敏菊 ;

郑浩 .

中国专利 :CN1670919A ,2005-09-21

[3]

在ZnO单晶衬底上低温生长高质量ZnO薄膜材料的方法 [P].

汤琨 ;

朱顺明 ;

顾然 ;

顾书林 ;

叶建东 ;

黄时敏 ;

姚峥嵘 ;

郑有炓 .

中国专利 :CN104790033A ,2015-07-22

[4]

在(La,Sr)(Al,Ta)O3上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法 [P].

杜小龙 ;

薛其坤 ;

英敏菊 ;

梅增霞 ;

曾兆权 ;

郑浩 .

中国专利 :CN1588631A ,2005-03-02

[5]

在蓝宝石衬底上二次生长高质量ZnO单晶厚膜的方法 [P].

何金孝 ;

段尭 ;

曾一平 ;

王晓峰 .

中国专利 :CN101538738A ,2009-09-23

[6]

一种在Si(111)衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法 [P].

杜小龙 ;

王喜娜 ;

曾兆权 ;

袁洪涛 ;

梅增霞 ;

薛其坤 ;

贾金锋 .

中国专利 :CN100422394C ,2007-02-14

[7]

在特定的蓝宝石图形衬底上制备高质量GaN基材料的方法 [P].

郭丽伟 ;

贾海强 ;

王晶 ;

邢志刚 ;

汪洋 ;

陈弘 ;

周均铭 .

中国专利 :CN1588640A ,2005-03-02

[8]

用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法 [P].

袁洪涛 ;

杜小龙 ;

曾兆权 ;

薛其坤 ;

贾金锋 .

中国专利 :CN100545314C ,2006-06-21

[9]

一种在蓝宝石衬底上制备自支撑GaN单晶衬底的方法 [P].

张雷 ;

齐占国 ;

俞娇仙 ;

王守志 ;

王国栋 ;

刘磊 .

中国专利 :CN115992385B ,2025-03-14

[10]

在蓝宝石上生长大尺寸高质量氧化锌单晶厚膜的方法 [P].

何金孝 ;

段尭 ;

曾一平 ;

李晋闽 ;

王晓峰 .

中国专利 :CN101469448B ,2009-07-01

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