介电薄膜形成用组合物、介电薄膜的形成方法及介电薄膜

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210003035.1
申请日
2012-01-06
公开(公告)号
CN103193477B
公开(公告)日
2013-07-10
发明(设计)人
藤井顺 樱井英章 曽山信幸
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
C04B35462
IPC分类号
C04B35465 C04B35622 H01G414
代理机构
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人
康泉;王珍仙
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
介电薄膜形成组合物,形成介电薄膜的方法和由该方法所形成的介电薄膜 [P]. 
G.古伊甘 ;
渡边敏昭 ;
曾山信幸 ;
樱井英章 .
中国专利 :CN102436866A ,2012-05-02
[2]
介电薄膜形成用组合物及介电薄膜的形成方法 [P]. 
藤井顺 ;
渡边敏昭 ;
樱井英章 ;
曽山信幸 .
中国专利 :CN103964838A ,2014-08-06
[3]
形成介电薄膜的组合物、形成介电薄膜的方法及通过所述方法形成的介电薄膜 [P]. 
渡边敏昭 ;
樱井英章 ;
曽山信幸 ;
纪尧姆·盖冈 .
中国专利 :CN103177797A ,2013-06-26
[4]
铁电薄膜形成用组合物、铁电薄膜的形成方法及铁电薄膜 [P]. 
藤井顺 ;
桜井英章 ;
曽山信幸 .
中国专利 :CN102219507B ,2011-10-19
[5]
形成介电薄膜的方法 [P]. 
萨吉·利维 ;
罗宾·S·布卢姆 ;
阿瓦沙伊·凯普坦 .
中国专利 :CN100442454C ,2005-07-13
[6]
形成介电薄膜的方法 [P]. 
萨吉·利维 ;
罗宾·S·布卢姆 ;
阿瓦沙伊·凯普坦 .
中国专利 :CN1459126A ,2003-11-26
[7]
介电薄膜的形成方法 [P]. 
储江 .
中国专利 :CN110896050A ,2020-03-20
[8]
介电薄膜用组合物、使用其的金属氧化物介电薄膜及制法 [P]. 
宣钟白 ;
郑铉潭 ;
李相润 .
中国专利 :CN101154588A ,2008-04-02
[9]
介电薄膜及介电层结构 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN207353258U ,2018-05-11
[10]
介电层以及形成此介电层之组合物及方法 [P]. 
林蔚伶 ;
林鹏 ;
胡堂祥 ;
陈良湘 .
中国专利 :CN101009223A ,2007-08-01