照明光学装置、曝光装置及元件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310052891.0

申请日：

2008-10-10

公开(公告)号：

CN103149807A

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

广田弘之

申请人：

申请人地址：

日本东京千代田区有乐町一丁目12番1号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101490730524 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100528910 申请日:20081010
2013-06-12	公开	公开
2016-04-06	授权	授权
2021-09-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20081010 授权公告日:20160406 终止日期:20201010

共 50 条

[1]

照明光学装置、曝光装置及元件制造方法 [P].

广田弘之 .

中国专利 :CN103149806A ,2013-06-12

[2]

照明光学装置、曝光装置及元件制造方法 [P].

广田弘之 .

中国专利 :CN101681117A ,2010-03-24

[3]

光学单元、照明光学装置、曝光装置、曝光方法以及元件制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN101681120B ,2010-03-24

[4]

照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法 [P].

田中裕久 .

中国专利 :CN102890425A ,2013-01-23

[5]

照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法 [P].

田中裕久 .

中国专利 :CN101410946A ,2009-04-15

[6]

曝光方法、电子元件制造方法、曝光装置及照明光学装置 [P].

白石直正 .

中国专利 :CN101566803B ,2009-10-28

[7]

照明光学系、曝光装置、及器件制造方法 [P].

森坚一郎 .

中国专利 :CN1690861B ,2005-11-02

[8]

照明光学系、曝光装置、及器件制造方法 [P].

森坚一郎 .

中国专利 :CN101369103A ,2009-02-18

[9]

曝光方法、电子元件制造方法、曝光装置以及照明光学装置 [P].

市原裕 ;

中村绫子 ;

白石直正 ;

谷元昭一 ;

工藤祐司 .

中国专利 :CN101128917B ,2008-02-20

[10]

照明光学装置、曝光装置及曝光方法 [P].

田中裕久 ;

谷津修 ;

豊田光纪 .

中国专利 :CN1461973A ,2003-12-17

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