用于使用多个带电粒子束来检查样本的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580036950.2

申请日：

2015-04-23

公开(公告)号：

CN106575595A

公开(公告)日：

2017-04-19

发明(设计)人：

P·库鲁伊特 A·C·左内维勒任岩

申请人：

申请人地址：

荷兰代尔夫特

IPC主分类号：

H01J3728

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

袁逸

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-25	授权	授权
2017-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101719980163 IPC(主分类):H01J 37/28 专利申请号:2015800369502 申请日:20150423
2017-04-19	公开	公开

共 50 条

[1]

利用多个带电粒子束检查样本的方法 [P].

曾国峰 ;

董仲华 ;

王義向 ;

陈仲玮 .

中国专利 :CN111066118A ,2020-04-24

[2]

用于通过多个带电粒子分束来检查样品的带电粒子束装置 [P].

P.赫拉文卡 ;

B.赛达 .

中国专利 :CN111755302A ,2020-10-09

[3]

带电粒子束检查系统、带电粒子束检查方法 [P].

杜航 ;

横须贺俊之 ;

笹气裕子 ;

渡边康子 ;

木村爱美 .

日本专利 :CN118476004A ,2024-08-09

[4]

用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置 [P].

P·斯泰斯卡尔 ;

B·赛达 ;

P·赫拉温卡 ;

L·诺瓦克 ;

J·斯托普卡 .

中国专利 :CN113433148A ,2021-09-24

[5]

用于多个带电粒子束的装置 [P].

任伟明 ;

刘学东 ;

胡学让 ;

陈仲玮 .

:CN112567493B ,2024-12-31

[6]

用于多个带电粒子束的装置 [P].

任岩 .

:CN113272934B ,2024-11-29

[7]

用于多个带电粒子束的装置 [P].

任伟明 ;

刘学东 ;

胡学让 ;

陈仲玮 .

中国专利 :CN112567493A ,2021-03-26

[8]

用于多个带电粒子束的装置 [P].

任岩 .

中国专利 :CN113272934A ,2021-08-17

[9]

多个带电粒子束的装置 [P].

任伟明 ;

刘学东 ;

胡学让 ;

陈仲玮 .

中国专利 :CN111681939A ,2020-09-18

[10]

多个带电粒子束的装置 [P].

任伟明 ;

刘学东 ;

胡学让 ;

陈仲玮 .

:CN113192815B ,2024-10-29

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