用于通过多个带电粒子分束来检查样品的带电粒子束装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010230636.0

申请日：

2020-03-27

公开(公告)号：

CN111755302A

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

P.赫拉文卡 B.赛达

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J3705

IPC分类号：

H01J3720 H01J37244 H01J3728

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张凌苗;闫小龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/05 申请日:20200327
2020-10-09	公开	公开

共 50 条

[1]

用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置 [P].

P·斯泰斯卡尔 ;

B·赛达 ;

P·赫拉温卡 ;

L·诺瓦克 ;

J·斯托普卡 .

中国专利 :CN113433148A ,2021-09-24

[2]

利用多个带电粒子子束检查样品的带电粒子束装置 [P].

A.穆罕默迪-盖达里 ;

E.R.基夫 ;

P.克鲁特 .

中国专利 :CN111627589A ,2020-09-04

[3]

带电粒子源、带电粒子枪、带电粒子束装置 [P].

城光寺佑树 ;

福田真大 ;

福本政幸 .

日本专利 :CN119404276A ,2025-02-07

[4]

带电粒子束检查系统、带电粒子束检查方法 [P].

杜航 ;

横须贺俊之 ;

笹气裕子 ;

渡边康子 ;

木村爱美 .

日本专利 :CN118476004A ,2024-08-09

[5]

用于带电粒子束装置的透镜、带电粒子束装置以及聚焦带电粒子束的方法 [P].

B·库克 ;

P·克鲁特 .

德国专利 :CN118248509A ,2024-06-25

[6]

带电粒子束装置、带电粒子束装置的控制方法 [P].

青木贤治 ;

斋藤勉 ;

细谷幸太郎 ;

中村光宏 ;

重藤训志 .

中国专利 :CN105593966A ,2016-05-18

[7]

带电粒子束装置 [P].

清原正宽 ;

上本敦 .

日本专利 :CN113496859B ,2025-12-19

[8]

带电粒子束装置 [P].

村上雄大 ;

根本佳和 .

日本专利 :CN111696842B ,2024-06-21

[9]

带电粒子束装置 [P].

铃木将人 ;

富松聪 ;

佐藤诚 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN110335800A ,2019-10-15

[10]

带电粒子束装置 [P].

富松聪 ;

佐藤诚 ;

上本敦 ;

麻畑达也 .

中国专利 :CN105910855B ,2016-08-31

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