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用于带电粒子束装置的透镜、带电粒子束装置以及聚焦带电粒子束的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311809425.2
申请日：
2023-12-25
公开(公告)号：
CN118248509A
公开(公告)日：
2024-06-25
发明(设计)人：
B·库克
P·克鲁特
申请人：
ICT半导体集成电路测试有限公司
申请人地址：
德国海姆斯特滕
IPC主分类号：
H01J37/145
IPC分类号：
H01J37/26
H01J37/28
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
侯颖媖;张鑫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-25 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/145申请日:20231225 |