一种透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200810222214.8
申请日
2008-09-11
公开(公告)号
CN101373712A
公开(公告)日
2009-02-25
发明(设计)人
张树玉 杨海 苏小平 黎建明 刘伟 闫兰琴 刘嘉禾
申请人
申请人地址
100088北京市海淀区新街口外大街2号
IPC主分类号
H01L21285
IPC分类号
H01L21363 H01L3118 H01L3300
代理机构
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人
张文宝
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备方法 [P]. 
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P型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备方法 [P]. 
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