一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710547326.X

申请日：

2017-07-06

公开(公告)号：

CN107389623A

公开(公告)日：

2017-11-24

发明(设计)人：

张栋汪爱英柯培玲王丽郭鹏

申请人：

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

IPC主分类号：

G01N2159

IPC分类号：

G01N213563

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

单英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/59 申请日:20170706
2017-11-24	公开	公开
2021-06-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/59 申请公布日:20171124

共 50 条

[1]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[2]

一种低压下将纳米金刚石薄膜中石墨相转变为金刚石相的方法 [P].

胡晓君 ;

朱志光 ;

姜从强 ;

陈成克 ;

郭迪峰 ;

柯昌成 .

中国专利 :CN114752916A ,2022-07-15

[3]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

[4]

类金刚石薄膜制备方法 [P].

庄严 .

中国专利 :CN101319324A ,2008-12-10

[5]

类金刚石薄膜及制备方法 [P].

胡琅 ;

徐平 ;

侯立涛 ;

冯杰 ;

胡强 ;

吴猛 .

中国专利 :CN113529031A ,2021-10-22

[6]

液相电沉积制备类金刚石薄膜的方法 [P].

张治军 ;

黄丽娜 ;

江河清 ;

张记升 ;

张平余 ;

吴志申 .

中国专利 :CN1962958A ,2007-05-16

[7]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[8]

类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

甄洪宾 .

中国专利 :CN102658684B ,2012-09-12

[9]

制备类金刚石薄膜的装置 [P].

楼祺洪 ;

黄峰 ;

李铁军 ;

董景星 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN1266107A ,2000-09-13

[10]

类金刚石薄膜的沉积设备 [P].

阮志明 ;

潘旋 ;

曾德强 ;

廖生 ;

钟俊超 ;

谭安平 ;

张晓柳 ;

阮炯城 ;

聂海天 .

中国专利 :CN206916216U ,2018-01-23

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