类金刚石薄膜的沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720725409.9

申请日：

2017-06-20

公开(公告)号：

CN206916216U

公开(公告)日：

2018-01-23

发明(设计)人：

阮志明潘旋曾德强廖生钟俊超谭安平张晓柳阮炯城聂海天

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道佳兴路2号

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C16503 C23C1646 C23C16458

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287

代理人：

胡海国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

离子束快速沉积类金刚石薄膜设备 [P].

杜旭颖 ;

阮志明 ;

王大洪 ;

曾德强 ;

李东新 .

中国专利 :CN204714891U ,2015-10-21

[2]

类金刚石薄膜低温沉积装置 [P].

范思大 ;

张帅 ;

张孝蹯 ;

陆杰 ;

杨家强 ;

崔虎山 ;

许开东 .

中国专利 :CN223633461U ,2025-12-05

[3]

新型类金刚石薄膜沉积工艺 [P].

赵跃 .

中国专利 :CN1590584A ,2005-03-09

[4]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[5]

一种沉积类金刚石薄膜装置 [P].

邹杨 ;

孙蕾 ;

杨宜珍 ;

邹松东 ;

孙凌 .

中国专利 :CN205803582U ,2016-12-14

[6]

绝缘介质表面类金刚石薄膜的沉积装置 [P].

刘东平 ;

古建中 ;

冯志庆 .

中国专利 :CN200996044Y ,2007-12-26

[7]

脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法 [P].

陈伟 .

中国专利 :CN102732851A ,2012-10-17

[8]

高界面强度类金刚石薄膜材料的常温沉积设备 [P].

郑锦华 .

中国专利 :CN201962349U ,2011-09-07

[9]

沉积类金刚石薄膜的镀膜机 [P].

楼祺洪 ;

黄峰 ;

李铁军 ;

董景星 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN2408126Y ,2000-11-29

[10]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

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