沉积类金刚石薄膜的镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN00216701.8

申请日：

2000-03-03

公开(公告)号：

CN2408126Y

公开(公告)日：

2000-11-29

发明(设计)人：

楼祺洪黄峰李铁军董景星魏运荣

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1406

代理机构：

上海华东专利事务所

代理人：

李兰英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-11-29	授权	授权
2006-04-26	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止

共 50 条

[1]

制备类金刚石薄膜的装置 [P].

楼祺洪 ;

黄峰 ;

李铁军 ;

董景星 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN1266107A ,2000-09-13

[2]

新型类金刚石薄膜沉积工艺 [P].

赵跃 .

中国专利 :CN1590584A ,2005-03-09

[3]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

[4]

类金刚石薄膜的沉积设备 [P].

阮志明 ;

潘旋 ;

曾德强 ;

廖生 ;

钟俊超 ;

谭安平 ;

张晓柳 ;

阮炯城 ;

聂海天 .

中国专利 :CN206916216U ,2018-01-23

[5]

绝缘介质表面类金刚石薄膜的沉积装置 [P].

刘东平 ;

古建中 ;

冯志庆 .

中国专利 :CN200996044Y ,2007-12-26

[6]

类金刚石薄膜低温沉积装置 [P].

范思大 ;

张帅 ;

张孝蹯 ;

陆杰 ;

杨家强 ;

崔虎山 ;

许开东 .

中国专利 :CN223633461U ,2025-12-05

[7]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[8]

一种沉积类金刚石薄膜装置 [P].

邹杨 ;

孙蕾 ;

杨宜珍 ;

邹松东 ;

孙凌 .

中国专利 :CN205803582U ,2016-12-14

[9]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[10]

脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法 [P].

陈伟 .

中国专利 :CN102732851A ,2012-10-17

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