一种用于直拉硅单晶制备中的含氮掺杂剂的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810222102.2

申请日：

2008-09-09

公开(公告)号：

CN101671841B

公开(公告)日：

2010-03-17

发明(设计)人：

韩海建戴小林吴志强王学峰

申请人：

申请人地址：

100088 北京市新街口外大街2号

IPC主分类号：

C30B1504

IPC分类号：

C30B3100

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

郭佩兰

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置 [P].

屠海令 ;

秦福 ;

周旗钢 ;

张果虎 ;

方锋 ;

吴志强 ;

戴小林 .

中国专利 :CN1195106C ,2003-04-30

[2]

一种用于直拉硅单晶多次加掺掺杂剂的装置 [P].

张欢 ;

郝晓明 ;

张宏浩 ;

吴志强 ;

崔彬 ;

姜舰 ;

王雅楠 ;

连庆伟 ;

李超 .

中国专利 :CN216919476U ,2022-07-08

[3]

直拉硅单晶生长的重掺杂方法 [P].

沈益军 ;

马向阳 ;

田达晰 ;

李立本 ;

阙端麟 .

中国专利 :CN1109778C ,2002-02-27

[4]

一种硅单晶锑掺杂剂制备装置 [P].

王鹏 ;

张俊 .

中国专利 :CN210481572U ,2020-05-08

[5]

直拉硅单晶的收尾方法及直拉硅单晶的制备方法 [P].

王思锋 ;

潘永娥 ;

潘得俊 .

中国专利 :CN106676621B ,2017-05-17

[6]

含氮直拉硅单晶的热处理方法 [P].

杨德仁 ;

杨建松 ;

李立本 ;

姚鸿年 ;

阙端磷 ;

张锦心 ;

樊瑞新 ;

张奚文 .

中国专利 :CN1029694C ,1994-03-16

[7]

直拉硅单晶的掺杂装置及方法 [P].

刘进 ;

王忠保 ;

李巨晓 ;

芮阳 ;

魏兴彤 ;

马小龙 ;

虎永慧 .

中国专利 :CN113549994B ,2021-10-26

[8]

一种硅单晶生长掺杂剂浓度稳定控制方法 [P].

张俊宝 ;

宋洪伟 .

中国专利 :CN105887187B ,2016-08-24

[9]

控制直拉硅单晶中氮含量的方法 [P].

李立本 ;

张锦心 ;

阙端麟 .

中国专利 :CN1014727B ,1990-03-14

[10]

磁场直拉硅单晶的制备方法 [P].

沈浩平 ;

胡元庆 ;

汪雨田 ;

刘为钢 ;

李翔 ;

刘宇 ;

李海静 ;

周建华 .

中国专利 :CN1763265A ,2006-04-26

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B 15/04 变更事项:专利权人变更前:有研半导体材料有限公司变更后:有研半导体硅材料股份公司变更事项:地址变更前:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧变更后:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
2010-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001373319 IPC(主分类):C30B 15/04 专利申请号:2008102221022 申请日:20080909
2014-06-25	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101702240377 IPC(主分类):C30B 15/04 专利号:ZL2008102221022 变更事项:专利权人变更前:有研半导体材料股份有限公司变更后:有研新材料股份有限公司变更事项:地址变更前:100088 北京市新街口外大街2号变更后:100088 北京市新街口外大街2号
2010-03-17	公开	公开
2011-11-16	授权	授权
2015-07-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717137940 IPC(主分类):C30B 15/04 专利号:ZL2008102221022 变更事项:专利权人变更前权利人:有研新材料股份有限公司变更后权利人:有研半导体材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:100088 北京市新街口外大街2号变更后权利人:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧登记生效日:20150611
2012-02-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101288934203 IPC(主分类):C30B 15/04 专利号:ZL2008102221022 变更事项:专利权人变更前权利人:北京有色金属研究总院变更后权利人:有研半导体材料股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:100088 北京市新街口外大街2号变更后权利人:100088 北京市新街口外大街2号变更事项:共同专利权人变更前权利人:有研半导体材料股份有限公司变更后权利人:无登记生效日:20120111