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芳香族锍盐化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201580077938.6
申请日
:
2015-03-18
公开(公告)号
:
CN107406403A
公开(公告)日
:
2017-11-28
发明(设计)人
:
柳泽智史
户田瞳
滋野浩一
木村正树
申请人
:
申请人地址
:
日本东京都
IPC主分类号
:
C07D31116
IPC分类号
:
C08G5968
G03F7004
代理机构
:
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
:
刘新宇;李茂家
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-11-28
公开
公开
2018-10-09
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C07D 311/16 申请公布日:20171128
共 50 条
[21]
锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物
[P].
中尾拓人
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中尾拓人
;
高嶋祐作
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高嶋祐作
.
中国专利
:CN111788181B
,2020-10-16
[22]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂
[P].
濑下武广
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濑下武广
;
内海义之
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内海义之
;
川上晃也
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川上晃也
;
羽田英夫
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羽田英夫
;
清水宏明
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清水宏明
;
中村刚
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中村刚
.
中国专利
:CN102344437B
,2012-02-08
[23]
阳离子聚合性树脂组合物
[P].
伊东祐一
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伊东祐一
;
水田康司
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水田康司
.
中国专利
:CN100564424C
,2007-01-24
[24]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂
[P].
濑下武广
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濑下武广
;
内海义之
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内海义之
;
川上晃也
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川上晃也
;
羽田英夫
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羽田英夫
;
清水宏明
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清水宏明
;
中村刚
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中村刚
.
中国专利
:CN101470349B
,2009-07-01
[25]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂
[P].
濑下武广
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濑下武广
;
内海义之
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内海义之
;
川上晃也
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川上晃也
;
羽田英夫
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羽田英夫
;
清水宏明
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清水宏明
;
中村刚
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中村刚
.
中国专利
:CN102566267A
,2012-07-11
[26]
阳离子聚合引发剂体系及其应用和阳离子聚合方法
[P].
邱迎昕
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邱迎昕
;
包巧云
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包巧云
;
周新钦
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周新钦
;
张雷
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张雷
;
龚惠勤
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龚惠勤
;
张月红
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张月红
.
中国专利
:CN104558341A
,2015-04-29
[27]
阳离子聚合引发剂体系及其应用和阳离子聚合方法
[P].
邱迎昕
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邱迎昕
;
张雷
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张雷
;
周新钦
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周新钦
;
包巧云
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包巧云
;
龚惠勤
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龚惠勤
;
张月红
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张月红
.
中国专利
:CN104558344A
,2015-04-29
[28]
硫醇化合物、光聚合引发剂组合物和光敏组合物
[P].
加藤刚
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加藤刚
;
镰田博稔
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镰田博稔
;
大西美奈
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大西美奈
.
中国专利
:CN100523008C
,2005-08-17
[29]
阳离子聚合性树脂组合物及其固化物
[P].
舩木克典
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舩木克典
;
堤圣晴
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堤圣晴
;
间彦智明
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间彦智明
;
新木直子
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新木直子
.
中国专利
:CN102459406A
,2012-05-16
[30]
硫醇化合物、光聚合引发剂组合物和光敏组合物
[P].
加藤刚
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加藤刚
;
镰田博稔
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镰田博稔
;
大西美奈
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大西美奈
.
中国专利
:CN100522939C
,2006-11-29
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