芳香族锍盐化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201580077938.6
申请日
2015-03-18
公开(公告)号
CN107406403A
公开(公告)日
2017-11-28
发明(设计)人
柳泽智史 户田瞳 滋野浩一 木村正树
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C07D31116
IPC分类号
C08G5968 G03F7004
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇;李茂家
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[21]
锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 [P]. 
中尾拓人 ;
高嶋祐作 .
中国专利 :CN111788181B ,2020-10-16
[22]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN102344437B ,2012-02-08
[23]
阳离子聚合性树脂组合物 [P]. 
伊东祐一 ;
水田康司 .
中国专利 :CN100564424C ,2007-01-24
[24]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN101470349B ,2009-07-01
[25]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN102566267A ,2012-07-11
[26]
阳离子聚合引发剂体系及其应用和阳离子聚合方法 [P]. 
邱迎昕 ;
包巧云 ;
周新钦 ;
张雷 ;
龚惠勤 ;
张月红 .
中国专利 :CN104558341A ,2015-04-29
[27]
阳离子聚合引发剂体系及其应用和阳离子聚合方法 [P]. 
邱迎昕 ;
张雷 ;
周新钦 ;
包巧云 ;
龚惠勤 ;
张月红 .
中国专利 :CN104558344A ,2015-04-29
[28]
硫醇化合物、光聚合引发剂组合物和光敏组合物 [P]. 
加藤刚 ;
镰田博稔 ;
大西美奈 .
中国专利 :CN100523008C ,2005-08-17
[29]
阳离子聚合性树脂组合物及其固化物 [P]. 
舩木克典 ;
堤圣晴 ;
间彦智明 ;
新木直子 .
中国专利 :CN102459406A ,2012-05-16
[30]
硫醇化合物、光聚合引发剂组合物和光敏组合物 [P]. 
加藤刚 ;
镰田博稔 ;
大西美奈 .
中国专利 :CN100522939C ,2006-11-29