光掩模和显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810528531.6

申请日：

2018-05-29

公开(公告)号：

CN109001957A

公开(公告)日：

2018-12-14

发明(设计)人：

小林周平阿部明生

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F100

IPC分类号：

G03F168 G03F720 H01L21027

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

庞东成;崔立宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/00 申请日:20180529
2018-12-14	公开	公开

共 50 条

[1]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107844026A ,2018-03-27

[2]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

李锡薰 ;

柳敏相 ;

薛宰勋 .

日本专利 :CN111624849B ,2024-03-29

[3]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

日本专利 :CN112506002B ,2025-08-01

[4]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107861334A ,2018-03-30

[5]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN112506002A ,2021-03-16

[6]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

日本专利 :CN111752089B ,2024-07-02

[7]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

李锡薰 ;

柳敏相 ;

薛宰勋 .

中国专利 :CN111624849A ,2020-09-04

[8]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN111752089A ,2020-10-09

[9]

光掩模和显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN110824828A ,2020-02-21

[10]

光掩模和显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN105467745B ,2016-04-06

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