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光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010114945.1
申请日：
2020-02-25
公开(公告)号：
CN111624849A
公开(公告)日：
2020-09-04
发明(设计)人：
李锡薰 柳敏相 薛宰勋
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F154
IPC分类号：
G03F180 G03F126
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
孟伟青;褚瑶杨
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-09-04 公开 公开
2020-09-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/54 申请日:20200225
共 50 条
[1]
光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P]. 
李锡薰 ;
柳敏相 ;
薛宰勋 .
日本专利 :CN111624849B ,2024-03-29
[2]
光掩模、光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P]. 
田中千惠 ;
齐藤隆史 ;
山田步实 ;
森山久美子 ;
福泉照夫 .
中国专利 :CN114114827A ,2022-03-01
[3]
光掩模的修正方法、光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P]. 
三好将之 ;
一之濑敬 .
中国专利 :CN109388018B ,2019-02-26
[4]
光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P]. 
金台勋 ;
李锡薰 .
中国专利 :CN107844026A ,2018-03-27
[5]
光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P]. 
山口昇 .
日本专利 :CN112506002B ,2025-08-01
[6]
光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P]. 
金台勋 ;
李锡薰 .
中国专利 :CN107861334A ,2018-03-30
[7]
光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P]. 
山口昇 .
中国专利 :CN112506002A ,2021-03-16
[8]
光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P]. 
山口昇 .
日本专利 :CN111752089B ,2024-07-02
[9]
光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P]. 
山口昇 .
中国专利 :CN107817648B ,2018-03-20
[10]
光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P]. 
李锡薰 ;
金台勋 .
中国专利 :CN106597807B ,2017-04-26
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