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晶圆浸泡槽
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920590616.7
申请日：
2019-04-26
公开(公告)号：
CN209708953U
公开(公告)日：
2019-11-29
发明(设计)人：
陈亮
黄锡钦
徐福兴
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B08B304
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-29 | 授权 | 授权 |
| 2022-04-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190426 授权公告日:20191129 终止日期:20210426 |