用于晶圆浸泡槽中的晃动机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920590240.X

申请日：

2019-04-26

公开(公告)号：

CN209708952U

公开(公告)日：

2019-11-29

发明(设计)人：

周志刚黄锡钦陈亮

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-29	授权	授权
2022-04-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190426 授权公告日:20191129 终止日期:20210426

共 50 条

[1]

晶圆浸泡槽 [P].

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 .

中国专利 :CN111863654A ,2020-10-30

[2]

晶圆清洗槽反复晃动机构 [P].

王静强 ;

徐福兴 ;

陈亮 .

中国专利 :CN110034052A ,2019-07-19

[3]

晶圆浸泡槽 [P].

陈亮 ;

黄锡钦 ;

徐福兴 .

中国专利 :CN209708953U ,2019-11-29

[4]

一种晶圆清洗槽的晃动机构 [P].

侯承明 ;

施宁娣 ;

薛伸伸 ;

曹海洋 .

中国专利 :CN221086559U ,2024-06-07

[5]

一种晶圆浸泡晃动装置 [P].

周志刚 ;

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 ;

陈亮 .

中国专利 :CN217387093U ,2022-09-06

[6]

半导体晶圆制程槽的转动机构 [P].

陈铁龙 ;

林智颖 ;

程龙祥 ;

张振 ;

蔡翔羽 .

中国专利 :CN223245570U ,2025-08-19

[7]

晶圆驱动机构 [P].

殷骐 .

中国专利 :CN216793621U ,2022-06-21

[8]

晶圆转动机构 [P].

左国军 ;

成旭 ;

付正超 ;

王千熙 .

中国专利 :CN217857709U ,2022-11-22

[9]

晶圆清洁装置的驱动机构 [P].

刘元周 .

中国专利 :CN202199565U ,2012-04-25

[10]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184246U ,2021-05-11

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