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一种晶圆保护涂层浸泡装置

被引：0
申请号：
CN202222214936.7
申请日：
2022-08-21
公开(公告)号：
CN217963784U
公开(公告)日：
2022-12-06
发明(设计)人：
侯军 褚雨露 张楠 贺剑锋 李传友
申请人：
申请人地址：
324012 浙江省衢州市杜鹃路36号
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B308 B08B310 B08B1300 H01L2167
代理机构：
潍坊汇锦知识产权代理事务所(普通合伙) 37286
代理人：
曹少华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-06 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆保护涂层清洗设备 [P]. 
侯军 ;
褚雨露 ;
张楠 ;
贺剑锋 ;
李传友 .
中国专利 :CN115338171A ,2022-11-15
[2]
晶圆浸泡装置 [P]. 
谷德君 ;
王一 .
中国专利 :CN104979235A ,2015-10-14
[3]
一种晶圆浸泡装置 [P]. 
谷德君 ;
张浩渊 ;
卢继奎 .
中国专利 :CN103811374B ,2014-05-21
[4]
一种浸泡高效的晶圆浸泡装置 [P]. 
钟兴进 .
中国专利 :CN213878031U ,2021-08-03
[5]
一种晶圆保护涂层一体式清洗装置 [P]. 
侯军 ;
褚雨露 ;
张楠 ;
贺剑锋 ;
李传友 .
中国专利 :CN217955815U ,2022-12-02
[6]
一种晶圆去胶浸泡装置 [P]. 
沈伟 ;
王宾 ;
刘娟 .
中国专利 :CN222440544U ,2025-02-07
[7]
一种晶圆浸泡装置 [P]. 
钟兴进 .
中国专利 :CN213878030U ,2021-08-03
[8]
晶圆浸泡槽 [P]. 
陈亮 ;
黄锡钦 ;
徐福兴 .
中国专利 :CN209708953U ,2019-11-29
[9]
一种晶圆清洗用浸泡装置 [P]. 
周志刚 ;
王静强 ;
徐福兴 ;
黄锡钦 ;
陈亮 .
中国专利 :CN216054589U ,2022-03-15
[10]
一种湿法处理用晶圆浸泡装置 [P]. 
吴永胜 .
中国专利 :CN212570938U ,2021-02-19
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