一种晶圆保护涂层清洗设备

被引：0

申请号：

CN202211003619.9

申请日：

2022-08-21

公开(公告)号：

CN115338171A

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

侯军褚雨露张楠贺剑锋李传友

申请人：

申请人地址：

324012 浙江省衢州市杜鹃路36号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B308 B08B310 B08B1300 H01L2167

代理机构：

潍坊汇锦知识产权代理事务所(普通合伙) 37286

代理人：

曹少华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	公开	公开
2022-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20220821

共 50 条

[1]

一种晶圆保护涂层浸泡装置 [P].

侯军 ;

褚雨露 ;

张楠 ;

贺剑锋 ;

李传友 .

中国专利 :CN217963784U ,2022-12-06

[2]

一种晶圆保护涂层一体式清洗设备 [P].

侯军 ;

褚雨露 ;

张楠 ;

贺剑锋 ;

李传友 .

中国专利 :CN115172228B ,2025-04-08

[3]

一种晶圆保护涂层一体式清洗装置 [P].

侯军 ;

褚雨露 ;

张楠 ;

贺剑锋 ;

李传友 .

中国专利 :CN217955815U ,2022-12-02

[4]

晶圆清洗设备及其晶圆卡盘、晶圆清洗方法 [P].

赵宏宇 ;

李爱兵 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN115706044A ,2023-02-17

[5]

一种晶圆清洗设备 [P].

庞浩 ;

尹影 ;

徐俊成 ;

江伟 .

中国专利 :CN112086382B ,2020-12-15

[6]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

江伟 ;

尹影 ;

庞浩 ;

徐俊成 .

中国专利 :CN111477537A ,2020-07-31

[7]

一种晶圆清洗机 [P].

王会敏 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 ;

尚玉晓 .

中国专利 :CN205718209U ,2016-11-23

[8]

一种晶圆清洗设备 [P].

庞浩 ;

尹影 ;

徐俊成 ;

江伟 .

中国专利 :CN111446153A ,2020-07-24

[9]

一种晶圆清洗设备 [P].

雷理 ;

罗家明 ;

吴伟平 ;

莫海文 .

中国专利 :CN220658468U ,2024-03-26

[10]

一种晶圆清洗设备 [P].

崔亚东 ;

佘守兴 ;

孙哲 .

中国专利 :CN220358054U ,2024-01-16

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