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一种浸泡高效的晶圆浸泡装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022995672.4
申请日：
2020-12-11
公开(公告)号：
CN213878031U
公开(公告)日：
2021-08-03
发明(设计)人：
钟兴进
申请人：
申请人地址：
511300 广东省广州市增城区新塘镇荔新十二路96号9幢103房
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227
代理人：
邱冬新
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-03 | 授权 | 授权 |