硅-蓝宝石差分电容式压力传感器及制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510499940.4

申请日：

2015-08-16

公开(公告)号：

CN104990651A

公开(公告)日：

2015-10-21

发明(设计)人：

李策

申请人：

申请人地址：

215316 江苏省苏州市昆山市高新区登云路268号

IPC主分类号：

G01L114

IPC分类号：

G01L912

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01L 1/14 申请公布日:20151021
2016-01-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640757736 IPC(主分类):G01L 1/14 专利申请号:2015104999404 申请日:20150816
2015-10-21	公开	公开

共 50 条

[1]

硅-蓝宝石差分电容式压力传感器 [P].

李策 .

中国专利 :CN204944712U ,2016-01-06

[2]

蓝宝石压力传感器 [P].

王冬 ;

刘侃 .

中国专利 :CN201382829Y ,2010-01-13

[3]

准差分电容式MEMS压力传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204881958U ,2015-12-16

[4]

电容式压力传感器及其制作方法 [P].

吕萍 .

中国专利 :CN115594145A ,2023-01-13

[5]

一种差分电容式压力传感器 [P].

曹英杰 ;

丁康晋 ;

赵恒硕 .

中国专利 :CN223050759U ,2025-07-01

[6]

准差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104848982B ,2015-08-19

[7]

MEMS电容式压力传感器的制作方法 [P].

荆二荣 .

中国专利 :CN105084296B ,2015-11-25

[8]

MEMS电容式压力传感器及其制作方法 [P].

艾治州 ;

李松岭 ;

王东升 .

中国专利 :CN118255316A ,2024-06-28

[9]

电容式压力传感器和其制作方法 [P].

苏佳乐 .

中国专利 :CN105092111A ,2015-11-25

[10]

电容式柔性压力传感器及其制作方法 [P].

戴俊 .

中国专利 :CN117629464A ,2024-03-01

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