硅-蓝宝石差分电容式压力传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520613700.8

申请日：

2015-08-16

公开(公告)号：

CN204944712U

公开(公告)日：

2016-01-06

发明(设计)人：

李策

申请人：

申请人地址：

215316 江苏省苏州市昆山市高新区登云路268号

IPC主分类号：

G01L114

IPC分类号：

G01L912

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-06	授权	授权
2020-07-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20150816 授权公告日:20160106 终止日期:20190816

共 50 条

[1]

硅-蓝宝石差分电容式压力传感器及制作方法 [P].

李策 .

中国专利 :CN104990651A ,2015-10-21

[2]

蓝宝石压力传感器 [P].

王冬 ;

刘侃 .

中国专利 :CN201382829Y ,2010-01-13

[3]

准差分电容式MEMS压力传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204881958U ,2015-12-16

[4]

一种差分电容式压力传感器 [P].

曹英杰 ;

丁康晋 ;

赵恒硕 .

中国专利 :CN223050759U ,2025-07-01

[5]

准差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104848982B ,2015-08-19

[6]

一种差分电容式MEMS压力传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204964093U ,2016-01-13

[7]

电容式压力传感器 [P].

吉川康秀 ;

石仓义之 ;

山口彻 .

中国专利 :CN1961204B ,2007-05-09

[8]

电容式压力传感器 [P].

S·D·布兰肯希普 .

中国专利 :CN102812342B ,2012-12-05

[9]

电容式压力传感器 [P].

莱奥·E·巴龙 ;

约翰·A·曹扎斯蒂 ;

弗朗西斯·A·加勒 .

中国专利 :CN103674404B ,2014-03-26

[10]

电容式压力传感器 [P].

武尔费特·德鲁斯 ;

伊戈·格季曼 ;

弗兰克·赫格纳 .

中国专利 :CN100353154C ,2005-10-12

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