一种硅片检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110997707.4

申请日：

2021-08-27

公开(公告)号：

CN113624777A

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

卢亚宾梁坤张聪云宏霞曹深深

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号

IPC主分类号：

G01N2194

IPC分类号：

G01N2184 G01N2188

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王亚琼

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/94 申请日:20210827
2021-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

梁坤 ;

张聪 ;

云宏霞 ;

曹深深 .

中国专利 :CN215812477U ,2022-02-11

[2]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

梁坤 ;

张聪 ;

云宏霞 ;

曹深深 .

中国专利 :CN113624777B ,2025-03-07

[3]

一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN217866289U ,2022-11-22

[4]

一种硅片检测方法和硅片检测装置 [P].

陈全胜 ;

刘尧平 ;

陈伟 ;

吴俊桃 ;

赵燕 ;

王燕 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN107845090B ,2018-03-27

[5]

一种硅片检测装置 [P].

李志强 .

中国专利 :CN209715770U ,2019-12-03

[6]

一种硅片检测装置 [P].

徐明 .

中国专利 :CN211578774U ,2020-09-25

[7]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

王维 ;

王聚 ;

杜若愚 ;

刘中海 ;

陈淼淼 ;

马行 ;

程智 ;

韩鑫 ;

顾一鹏 ;

朱江兵 ;

梁坤 ;

牛广升 .

中国专利 :CN113433135B ,2021-09-24

[8]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

曹深深 ;

云宏霞 ;

张聪 ;

梁坤 .

中国专利 :CN113758930A ,2021-12-07

[9]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

曹深深 ;

云宏霞 ;

张聪 ;

梁坤 .

中国专利 :CN215812463U ,2022-02-11

[10]

一种硅片检测装置 [P].

黄昱 ;

方荣 ;

于松 ;

付月姣 .

中国专利 :CN109243990A ,2019-01-18

← 1 2 3 4 5 →