一种硅片检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122044033.4

申请日：

2021-08-27

公开(公告)号：

CN215812477U

公开(公告)日：

2022-02-11

发明(设计)人：

卢亚宾梁坤张聪云宏霞曹深深

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号

IPC主分类号：

G01N2194

IPC分类号：

G01N2184 G01N2188

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王亚琼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN217866289U ,2022-11-22

[2]

一种硅片检测装置 [P].

李志强 .

中国专利 :CN209715770U ,2019-12-03

[3]

一种硅片检测装置 [P].

徐明 .

中国专利 :CN211578774U ,2020-09-25

[4]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

曹深深 ;

云宏霞 ;

张聪 ;

梁坤 .

中国专利 :CN215812463U ,2022-02-11

[5]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

梁坤 ;

张聪 ;

云宏霞 ;

曹深深 .

中国专利 :CN113624777A ,2021-11-09

[6]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

梁坤 ;

张聪 ;

云宏霞 ;

曹深深 .

中国专利 :CN113624777B ,2025-03-07

[7]

一种硅片检测装置 [P].

张强 ;

缪海波 .

中国专利 :CN215297174U ,2021-12-24

[8]

一种硅片及硅片的检测装置 [P].

张军 ;

马自成 .

中国专利 :CN213546328U ,2021-06-25

[9]

一种硅片检测装置 [P].

崔志远 ;

魏玉杰 ;

蔡玉龙 .

中国专利 :CN221506713U ,2024-08-09

[10]

一种兼容硅片输送装置及检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

顾晓奕 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 .

中国专利 :CN218087870U ,2022-12-20

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