基于Cu膜退火的SiC衬底上结构化石墨烯制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210160190.4
申请日
2012-05-22
公开(公告)号
CN102674330A
公开(公告)日
2012-09-19
发明(设计)人
郭辉 张克基 张玉明 张凤祁 雷天民 邓鹏飞
申请人
申请人地址
710071 陕西省西安市太白南路2号
IPC主分类号
C01B3104
IPC分类号
H01L2102
代理机构
陕西电子工业专利中心 61205
代理人
王品华;朱红星
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
基于Ni膜退火的SiC衬底上结构化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
张克基 ;
张玉明 ;
张凤祁 ;
雷天民 ;
邓鹏飞 .
中国专利 :CN102718208A ,2012-10-10
[2]
基于Cu膜退火的SiC衬底图形化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
赵艳黎 ;
张玉明 ;
汤小燕 ;
雷天民 ;
张克基 .
中国专利 :CN102938367A ,2013-02-20
[3]
基于Cu膜退火的结构化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
张晨旭 ;
张克基 ;
张玉明 ;
雷天民 ;
邓鹏飞 .
中国专利 :CN102674328A ,2012-09-19
[4]
基于Ni膜退火的结构化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
张晨旭 ;
张玉明 ;
张克基 ;
雷天民 ;
邓鹏飞 .
中国专利 :CN102653401B ,2012-09-05
[5]
以SiC为基底的结构化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
张克基 ;
张玉明 ;
张凤祁 ;
邓鹏飞 ;
雷天民 .
中国专利 :CN102723258A ,2012-10-10
[6]
基于Ni膜退火的SiC衬底图形化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
赵艳黎 ;
张玉明 ;
汤小燕 ;
雷天民 ;
张克基 .
中国专利 :CN102936154A ,2013-02-20
[7]
基于Cu膜退火和Cl2反应的结构化石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
张克基 ;
张玉明 ;
张凤祁 ;
邓鹏飞 ;
雷天民 .
中国专利 :CN102718207A ,2012-10-10
[8]
基于Cl<sub>2<sub>反应的SiC衬底上制备结构化石墨烯的方法 [P]. 
郭辉 ;
邓鹏飞 ;
张玉明 ;
张克基 ;
雷天民 ;
张凤祁 .
中国专利 :CN102701789B ,2012-10-03
[9]
基于Cu膜退火的SiC与Cl2反应制备结构化石墨烯的方法 [P]. 
郭辉 ;
邓鹏飞 ;
张玉明 ;
张克基 ;
雷天民 ;
张凤祁 .
中国专利 :CN102674332A ,2012-09-19
[10]
基于Cu膜辅助退火的SiC衬底上石墨烯制备方法 [P]. 
郭辉 ;
邓鹏飞 ;
张玉明 ;
张克基 ;
雷天民 .
中国专利 :CN102583330B ,2012-07-18