一种在硅衬底上生长的氮化镓外延结构

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专利类型
发明
申请号
CN201410057090.8
申请日
2014-02-20
公开(公告)号
CN104733511A
公开(公告)日
2015-06-24
发明(设计)人
陈振
申请人
申请人地址
330096 江西省南昌市高新区艾溪北路699号
IPC主分类号
H01L2906
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
在图形衬底上生长氮化镓外延结构的方法 [P]. 
梁萌 ;
李鸿渐 ;
姚然 ;
李志聪 ;
李盼盼 ;
王兵 ;
李璟 ;
伊晓燕 ;
王军喜 ;
王国宏 ;
李晋闽 .
中国专利 :CN102534769B ,2012-07-04
[2]
硅衬底上横向外延生长氮化镓的方法 [P]. 
王质武 .
中国专利 :CN101469446A ,2009-07-01
[3]
一种在硅衬底上生长氮化镓薄膜的方法 [P]. 
王晓亮 ;
李百泉 ;
肖红领 .
中国专利 :CN110752146A ,2020-02-04
[4]
采用硅图形衬底生长氮化镓外延方法 [P]. 
梁辉南 .
中国专利 :CN107910244B ,2018-04-13
[5]
在硅衬底上生长氮化镓自支撑衬底材料的方法 [P]. 
刘祥林 ;
焦春美 ;
于英仪 ;
赵凤瑗 .
中国专利 :CN1779910A ,2006-05-31
[6]
硅衬底上氮化镓生长方法 [P]. 
陈祈铭 ;
刘柏均 ;
林宏达 ;
喻中一 ;
蔡嘉雄 ;
黃和涌 .
中国专利 :CN103137446A ,2013-06-05
[7]
一种基于硅衬底的氮化镓材料外延结构 [P]. 
王洪 ;
方溢 ;
王楷 ;
沈霈 ;
陈玲 .
中国专利 :CN221239616U ,2024-06-28
[8]
生长在硅衬底上的氮化镓纳米柱LED外延片 [P]. 
李国强 ;
韩晶磊 ;
温雷 ;
高芳亮 .
中国专利 :CN206697514U ,2017-12-01
[9]
一种基于硅衬底的硅基氮化镓材料外延结构 [P]. 
吴义针 ;
汪连山 ;
麻胜恒 ;
孙文红 ;
陈福鑫 .
中国专利 :CN120129274A ,2025-06-10
[10]
在硅衬底上生长无裂纹氮化镓薄膜的方法 [P]. 
刘喆 ;
李晋闽 ;
王军喜 ;
王晓亮 ;
王启元 ;
刘宏新 ;
王俊 ;
曾一平 .
中国专利 :CN1967778A ,2007-05-23