一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置

被引：0

申请号：

CN202221593961.4

申请日：

2022-06-24

公开(公告)号：

CN217922303U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

贺鹏博舒学福

申请人：

申请人地址：

413064 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

长沙轩荣专利代理有限公司 43235

代理人：

孙薇

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

刘玉清 .

中国专利 :CN202543325U ,2012-11-21

[2]

一种侧进气的化学气相沉积炉 [P].

王一虓 ;

王冬 .

中国专利 :CN218262739U ,2023-01-10

[3]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

关刚刚 ;

李少华 ;

赵亚国 .

中国专利 :CN216514116U ,2022-05-13

[4]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

关刚刚 ;

赵亚国 ;

李勇 ;

张磊 .

中国专利 :CN221440858U ,2024-07-30

[5]

一种化学气相沉积进气装置及气相沉积系统 [P].

邓雄志 ;

尹宜辉 ;

王建伟 ;

刘超 ;

王振兴 .

中国专利 :CN221254696U ,2024-07-02

[6]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770949U ,2021-03-23

[7]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

何淑英 ;

何浩梁 ;

冯嘉荔 ;

黄永钦 .

中国专利 :CN216947188U ,2022-07-12

[8]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

侯光远 .

中国专利 :CN209602637U ,2019-11-08

[9]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

耿亮 ;

高钰凯 .

中国专利 :CN222476742U ,2025-02-14

[10]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770948U ,2021-03-23

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