一种化学气相沉积炉的辅助进气装置

被引：0

申请号：

CN202122701303.4

申请日：

2021-11-06

公开(公告)号：

CN216514116U

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

关刚刚李少华赵亚国

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区西三环和科技路十字西北角绿地国际花都8幢1单元10层11007号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

关刚刚 ;

赵亚国 ;

李勇 ;

张磊 .

中国专利 :CN221440858U ,2024-07-30

[2]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

侯光远 .

中国专利 :CN209602637U ,2019-11-08

[3]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

耿亮 ;

高钰凯 .

中国专利 :CN222476742U ,2025-02-14

[4]

一种化学气相沉积炉的辅助进气装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770948U ,2021-03-23

[5]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

刘玉清 .

中国专利 :CN202543325U ,2012-11-21

[6]

一种侧进气的化学气相沉积炉 [P].

王一虓 ;

王冬 .

中国专利 :CN218262739U ,2023-01-10

[7]

一种化学气相沉积炉进气改进机构 [P].

余斌 ;

余海粟 ;

朱轶方 ;

陆骁莹 .

中国专利 :CN212051639U ,2020-12-01

[8]

一种化学气相沉积炉 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN218372510U ,2023-01-24

[9]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770949U ,2021-03-23

[10]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

何淑英 ;

何浩梁 ;

冯嘉荔 ;

黄永钦 .

中国专利 :CN216947188U ,2022-07-12

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