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一种化学气相沉积炉进气改进机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020664196.5
申请日：
2020-04-27
公开(公告)号：
CN212051639U
公开(公告)日：
2020-12-01
发明(设计)人：
余斌
余海粟
朱轶方
陆骁莹
申请人：
申请人地址：
311402 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
杭州信义达专利代理事务所(普通合伙) 33305
代理人：
陈继算
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-01 | 授权 | 授权 |