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一种化学气相沉积炉的辅助进气装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021030735.6
申请日：
2020-06-08
公开(公告)号：
CN212770948U
公开(公告)日：
2021-03-23
发明(设计)人：
贺鹏博
周帆
申请人：
申请人地址：
413000 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
长沙轩荣专利代理有限公司 43235
代理人：
张勇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-23 | 授权 | 授权 |