投影式光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710094390.3

申请日：

2007-12-06

公开(公告)号：

CN101452212B

公开(公告)日：

2009-06-10

发明(设计)人：

陈福成王雷

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

丁纪铁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-09-08	授权	授权
2014-01-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684694900 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007100943903 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20131216
2009-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

投影式光刻机 [P].

陈福成 ;

朱骏 .

中国专利 :CN101458453A ,2009-06-17

[2]

一种投影式光刻机的光源结构、投影式光刻机及光刻工艺 [P].

季明华 ;

任新平 ;

黄早红 .

中国专利 :CN114839843A ,2022-08-02

[3]

扫描式投影光刻机物镜 [P].

王之江 .

中国专利 :CN85104369B ,1986-12-03

[4]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN117369084A ,2024-01-09

[5]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676A ,2022-12-30

[6]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676B ,2025-09-23

[7]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542675B ,2025-08-12

[8]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542675A ,2022-12-30

[9]

投影物镜及光刻机 [P].

侯宝路 ;

沈玲 ;

于迪迪 ;

王进霞 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118859633A ,2024-10-29

[10]

光学投影光刻机 [P].

王笑冰 ;

李建兵 ;

张海明 .

中国专利 :CN102944985A ,2013-02-27

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