光学投影光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210539311.6

申请日：

2012-12-12

公开(公告)号：

CN102944985A

公开(公告)日：

2013-02-27

发明(设计)人：

王笑冰李建兵张海明

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区田寮大道聚汇工业园1栋

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2728

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-27	公开	公开
2013-03-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101425719450 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012105393116 申请日:20121212
2015-11-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724344470 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012105393116 申请公布日:20130227

共 50 条

[1]

步进投影光刻机 [P].

刘正浩 ;

何渝 ;

唐燕 ;

刘俊伯 ;

杜婧 ;

冯金花 .

中国专利 :CN305302764S ,2019-08-13

[2]

步进投影光刻机 [P].

蒋薇 ;

王楠 ;

胡松 .

中国专利 :CN303108010S ,2015-02-18

[3]

全自动投影光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN221056828U ,2024-05-31

[4]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN211786585U ,2020-10-27

[5]

扫描式投影光刻机物镜 [P].

王之江 .

中国专利 :CN85104369B ,1986-12-03

[6]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置及自动对焦方法 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN111352310A ,2020-06-30

[7]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

[8]

一种激光干涉投影光刻机 [P].

卢金荣 .

中国专利 :CN217954910U ,2022-12-02

[9]

传感芯片投影光刻机匹配方法 [P].

刘俊伯 ;

张清延 ;

孙海峰 ;

全海洋 ;

杜婧 .

中国专利 :CN115457299A ,2022-12-09

[10]

步进扫描投影光刻机同步控制系统 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100485534C ,2008-03-26

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