一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置及自动对焦方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010242592.3

申请日：

2020-03-31

公开(公告)号：

CN111352310A

公开(公告)日：

2020-06-30

发明(设计)人：

黄燕燕王笑冰阚凌雁柯华恒

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区田寮社区聚汇工业园1栋

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

曹卫良

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200331
2020-06-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN211786585U ,2020-10-27

[2]

全自动投影光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN221056828U ,2024-05-31

[3]

一种光刻机气动自动对焦装置及对焦方法 [P].

朱亮 .

中国专利 :CN102231051A ,2011-11-02

[4]

一种光刻机共轴对焦装置及对焦方法 [P].

吴俊 ;

焦朋 ;

方兴 ;

李文静 ;

李显杰 ;

刘文海 .

中国专利 :CN102385261A ,2012-03-21

[5]

一种光刻机自动对焦结构 [P].

李文静 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 .

中国专利 :CN220962137U ,2024-05-14

[6]

一种激光干涉投影光刻机 [P].

卢金荣 .

中国专利 :CN217954910U ,2022-12-02

[7]

一种用于光刻机工艺的自动对焦装置 [P].

周杰 ;

张琪 ;

符友银 ;

李俊毅 .

中国专利 :CN215769356U ,2022-02-08

[8]

光刻机场域图像自动对焦方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

沈全安 ;

邓丽君 .

中国专利 :CN119668044A ,2025-03-21

[9]

一种光刻机的自动对焦的工作装置 [P].

王泽明 ;

邓超略 ;

朱勤 ;

黄文斌 ;

赵家峰 .

中国专利 :CN213122598U ,2021-05-04

[10]

一种用于投影光刻机的透镜系统 [P].

周升志 ;

王义华 .

中国专利 :CN216145078U ,2022-03-29

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