一种光刻机的自动对焦的工作装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021495629.5

申请日：

2020-07-24

公开(公告)号：

CN213122598U

公开(公告)日：

2021-05-04

发明(设计)人：

王泽明邓超略朱勤黄文斌赵家峰

申请人：

申请人地址：

411110 湖南省湘潭市高新区光华路摇钱社区19号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京棘龙知识产权代理有限公司 11740

代理人：

聂颖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机自动对焦结构 [P].

李文静 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 .

中国专利 :CN220962137U ,2024-05-14

[2]

光刻机的自动调焦装置 [P].

吴濯才 ;

刘业异 ;

谢传钵 ;

姚汉民 ;

林大键 .

中国专利 :CN2073594U ,1991-03-20

[3]

一种光刻机相机位置调节机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN214252875U ,2021-09-21

[4]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN211786585U ,2020-10-27

[5]

一种用于光刻机工艺的自动对焦装置 [P].

周杰 ;

张琪 ;

符友银 ;

李俊毅 .

中国专利 :CN215769356U ,2022-02-08

[6]

一种光刻机气动自动对焦装置及对焦方法 [P].

朱亮 .

中国专利 :CN102231051A ,2011-11-02

[7]

一种光刻机的成像装置 [P].

王泽明 ;

邓超略 ;

朱勤 ;

黄文斌 ;

赵家峰 .

中国专利 :CN213122597U ,2021-05-04

[8]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[9]

一种全自动光刻机 [P].

张其文 .

中国专利 :CN214504121U ,2021-10-26

[10]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置及自动对焦方法 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN111352310A ,2020-06-30

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