共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种光刻机相机位置调节机构及光刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023194947.0
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN214252875U
公开(公告)日：
2021-09-21
发明(设计)人：
霍锦充
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市常平镇土塘港建路33号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人：
黄玉清
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-21 | 授权 | 授权 |