一种光刻机相机位置调节机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422276924.6

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN223244972U

公开(公告)日：

2025-08-19

发明(设计)人：

王运钢薛业保章广飞李文静

申请人：

安徽国芯智能装备有限公司

申请人地址：

230051 安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

F16M11/04

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

赵娟

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机相机位置调节机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN214252875U ,2021-09-21

[2]

一种光刻机相机位置调节机构 [P].

胡德立 .

中国专利 :CN221378483U ,2024-07-19

[3]

一种光刻机及其相机位置调节装置 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN215067721U ,2021-12-07

[4]

一种光刻机上台面板位置调节机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN213904061U ,2021-08-06

[5]

一种相机位置双向调节机构 [P].

金健 .

中国专利 :CN207830884U ,2018-09-07

[6]

一种相机位置双向调节机构 [P].

陈志豪 ;

蔡卫东 ;

吴伦 .

中国专利 :CN209245630U ,2019-08-13

[7]

一种相机位置双向调节机构 [P].

王龙举 ;

张德奇 ;

纪国雨 .

中国专利 :CN213541775U ,2021-06-25

[8]

一种光刻机上台面板位置调节方法、调节机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN113721426A ,2021-11-30

[9]

一种相机位置调节系统 [P].

葛聪 .

中国专利 :CN211600037U ,2020-09-29

[10]

一种相机位置调节装置 [P].

黄盛彬 ;

赖山进 ;

罗理华 ;

宋伟雄 ;

李学法 ;

张国平 .

中国专利 :CN220817106U ,2024-04-19

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