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一种光刻机上台面板位置调节机构及光刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023140019.6
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN213904061U
公开(公告)日：
2021-08-06
发明(设计)人：
霍锦充
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市常平镇土塘港建路33号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人：
黄玉清
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-09 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20201223 授权公告日:20210806 终止日期:20211223 |
| 2021-08-06 | 授权 | 授权 |