一种光刻机自动对焦结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322690030.7

申请日：

2023-10-08

公开(公告)号：

CN220962137U

公开(公告)日：

2024-05-14

发明(设计)人：

李文静章广飞王运钢薛业保

申请人：

安徽国芯光刻技术有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市包河经济开发区中关村协同智汇园B4栋5层

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

夏舜

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机对焦方法 [P].

何如兵 ;

马莺莺 .

中国专利 :CN101201550A ,2008-06-18

[2]

一种光刻机气动自动对焦装置及对焦方法 [P].

朱亮 .

中国专利 :CN102231051A ,2011-11-02

[3]

一种自动光刻机 [P].

时琦 .

中国专利 :CN208224716U ,2018-12-11

[4]

一种光刻机的自动对焦的工作装置 [P].

王泽明 ;

邓超略 ;

朱勤 ;

黄文斌 ;

赵家峰 .

中国专利 :CN213122598U ,2021-05-04

[5]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[6]

一种光刻机吸盘及光刻机 [P].

陈鹏 ;

余洋 ;

周伟 ;

施超 ;

董佳 .

中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05

[7]

一种全自动光刻机 [P].

张其文 .

中国专利 :CN214504121U ,2021-10-26

[8]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN211786585U ,2020-10-27

[9]

一种单面自动光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN216622957U ,2022-05-27

[10]

一种光刻机共轴对焦装置及对焦方法 [P].

吴俊 ;

焦朋 ;

方兴 ;

李文静 ;

李显杰 ;

刘文海 .

中国专利 :CN102385261A ,2012-03-21

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