一种用于投影光刻机的透镜系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121380986.1

申请日：

2021-06-22

公开(公告)号：

CN216145078U

公开(公告)日：

2022-03-29

发明(设计)人：

周升志王义华

申请人：

申请人地址：

214100 江苏省无锡市惠山经济开发区智慧路1号清华创新大厦A748

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351

代理人：

龚心怡

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统 [P].

周升志 ;

王义华 .

中国专利 :CN215297946U ,2021-12-24

[2]

光学投影光刻机 [P].

王笑冰 ;

李建兵 ;

张海明 .

中国专利 :CN102944985A ,2013-02-27

[3]

步进投影光刻机 [P].

刘正浩 ;

何渝 ;

唐燕 ;

刘俊伯 ;

杜婧 ;

冯金花 .

中国专利 :CN305302764S ,2019-08-13

[4]

全自动投影光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN221056828U ,2024-05-31

[5]

步进投影光刻机 [P].

蒋薇 ;

王楠 ;

胡松 .

中国专利 :CN303108010S ,2015-02-18

[6]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

[7]

一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置 [P].

黄燕燕 ;

王笑冰 ;

阚凌雁 ;

柯华恒 .

中国专利 :CN211786585U ,2020-10-27

[8]

一种激光干涉投影光刻机 [P].

卢金荣 .

中国专利 :CN217954910U ,2022-12-02

[9]

用于投影光刻机的调焦调平方法 [P].

杨晓青 ;

张青云 ;

王帆 .

中国专利 :CN103869627A ,2014-06-18

[10]

扫描式投影光刻机物镜 [P].

王之江 .

中国专利 :CN85104369B ,1986-12-03

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