传感芯片投影光刻机匹配方法

被引：0

申请号：

CN202211416778.1

申请日：

2022-11-14

公开(公告)号：

CN115457299A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

刘俊伯张清延孙海峰全海洋杜婧

申请人：

申请人地址：

610041 四川省成都市人民南路四段九号

IPC主分类号：

G06V1075

IPC分类号：

G06V10762 G06V10774 G06V1082 G06N304 G06N308

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

江亚平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06V 10/75 申请日:20221114
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[1]

光学投影光刻机 [P].

王笑冰 ;

李建兵 ;

张海明 .

中国专利 :CN102944985A ,2013-02-27

[2]

步进投影光刻机 [P].

刘正浩 ;

何渝 ;

唐燕 ;

刘俊伯 ;

杜婧 ;

冯金花 .

中国专利 :CN305302764S ,2019-08-13

[3]

步进投影光刻机 [P].

蒋薇 ;

王楠 ;

胡松 .

中国专利 :CN303108010S ,2015-02-18

[4]

全自动投影光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN221056828U ,2024-05-31

[5]

光刻机匹配方法 [P].

李思坤 ;

茅言杰 ;

王向朝 ;

杨朝兴 .

中国专利 :CN108170006A ,2018-06-15

[6]

用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法 [P].

刘俊伯 ;

孙海峰 ;

张清延 ;

全海洋 ;

杜婧 .

中国专利 :CN115469555A ,2022-12-13

[7]

一种用于传感芯片投影光刻机的多次套刻对准方法 [P].

李昱阳 ;

康霞 ;

孙海峰 ;

俞大杰 ;

李艳丽 ;

周吉 ;

龚健文 .

中国专利 :CN119292016B ,2025-05-06

[8]

一种用于传感芯片投影光刻机的多次套刻对准方法 [P].

李昱阳 ;

康霞 ;

孙海峰 ;

俞大杰 ;

李艳丽 ;

周吉 ;

龚健文 .

中国专利 :CN119292016A ,2025-01-10

[9]

扫描式投影光刻机物镜 [P].

王之江 .

中国专利 :CN85104369B ,1986-12-03

[10]

光刻机匹配方法 [P].

茅言杰 ;

李思坤 ;

王向朝 .

中国专利 :CN110320764A ,2019-10-11

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