用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法

被引：0

申请号：

CN202211417846.6

申请日：

2022-11-14

公开(公告)号：

CN115469555A

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

刘俊伯孙海峰张清延全海洋杜婧

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市人民南路四段九号

IPC主分类号：

G05B1304

IPC分类号：

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

江亚平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 13/04 申请日:20221114
2022-12-13	公开	公开

共 50 条

[1]

传感芯片投影光刻机匹配方法 [P].

刘俊伯 ;

张清延 ;

孙海峰 ;

全海洋 ;

杜婧 .

中国专利 :CN115457299A ,2022-12-09

[2]

一种用于传感芯片投影光刻机的多次套刻对准方法 [P].

李昱阳 ;

康霞 ;

孙海峰 ;

俞大杰 ;

李艳丽 ;

周吉 ;

龚健文 .

中国专利 :CN119292016B ,2025-05-06

[3]

一种用于传感芯片投影光刻机的多次套刻对准方法 [P].

李昱阳 ;

康霞 ;

孙海峰 ;

俞大杰 ;

李艳丽 ;

周吉 ;

龚健文 .

中国专利 :CN119292016A ,2025-01-10

[4]

用于投影光刻机的调焦调平方法 [P].

杨晓青 ;

张青云 ;

王帆 .

中国专利 :CN103869627A ,2014-06-18

[5]

用于投影光刻机的调焦调平传感器 [P].

胡建明 ;

王向朝 ;

曾爱军 .

中国专利 :CN1700101B ,2005-11-23

[6]

光刻机空间像噪声评估及滤波方法 [P].

徐东波 ;

王向朝 ;

彭勃 ;

闫观勇 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102221789A ,2011-10-19

[7]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

[8]

一种用于投影光刻机的透镜系统 [P].

周升志 ;

王义华 .

中国专利 :CN216145078U ,2022-03-29

[9]

一种基于涡旋光空间调制的投影光刻机对准传感系统 [P].

周丽军 ;

王向朝 ;

李中梁 .

中国专利 :CN120315263A ,2025-07-15

[10]

投影光刻机照明装置和使用方法 [P].

曾爱军 ;

张运波 ;

陈明星 ;

王莹 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103399463A ,2013-11-20

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