衍射光栅外差式二维位移测量系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810245787.6

申请日：

2018-03-23

公开(公告)号：

CN108225193A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

李文昊吕强巴音贺希格唐玉国刘兆武于宏柱

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

赵勍毅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20180323
2021-01-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/02 申请公布日:20180629
2018-06-29	公开	公开

共 50 条

[41]

用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法 [P].

宋莹 ;

吕强 ;

李文昊 ;

刘兆武 ;

王玮 ;

巴音贺希格 .

中国专利 :CN107588728A ,2018-01-16

[42]

锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

王玮 ;

刘林 ;

姜珊 ;

于宏柱 ;

姜岩秀 .

中国专利 :CN113819846B ,2021-12-21

[43]

光栅位移测量方法 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

于宏柱 ;

王玮 ;

吉日嘎兰图 ;

姚雪峰 .

中国专利 :CN112097648B ,2020-12-18

[44]

一种外差式二/三维光栅位移粗/细测量系统 [P].

林杰 ;

陈航 ;

关健 ;

金鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN106247947A ,2016-12-21

[45]

准共光程外差干涉位移测量系统 [P].

许正治 ;

吴乾埼 ;

陈朝荣 ;

王振宇 ;

温博浚 ;

翁汉甫 .

中国专利 :CN1991297A ,2007-07-04

[46]

外差光纤干涉仪位移测量系统及方法 [P].

孙国华 ;

程朝奎 ;

郭升莉 .

中国专利 :CN112484648B ,2021-03-12

[47]

一种双频光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

王磊杰 ;

胡金春 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102937411B ,2013-02-20

[48]

基于微光学阵列元件的二维位移测量装置 [P].

卢振武 ;

刘华 ;

王尧 ;

孙强 .

中国专利 :CN102607428B ,2012-07-25

[49]

一种二维光栅位移传感器测量装置 [P].

高旭 ;

李舒航 ;

高阳 ;

戴宜捷 ;

刘依凡 ;

张瀚元 .

中国专利 :CN109870109A ,2019-06-11

[50]

一种基于衍射光栅位移技术的滚转角测量装置及方法 [P].

王昭 ;

郭俊杰 ;

汤善治 ;

李朝辉 .

中国专利 :CN103292744B ,2013-09-11

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