衍射光栅外差式二维位移测量系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810245787.6

申请日：

2018-03-23

公开(公告)号：

CN108225193A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

李文昊吕强巴音贺希格唐玉国刘兆武于宏柱

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

赵勍毅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20180323
2021-01-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/02 申请公布日:20180629
2018-06-29	公开	公开

共 50 条

[21]

一种外差式一/二维光栅位移粗/细测量系统 [P].

林杰 ;

陈航 ;

关健 ;

金鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN106052569B ,2016-10-26

[22]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统及方法 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

兰斌 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

杨开明 ;

鲁森 ;

丁思琪 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 .

中国专利 :CN105823422B ,2018-08-28

[23]

基于二次衍射的外差光栅干涉测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

郭子文 ;

张鸣 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

程朝奎 .

中国专利 :CN112229332A ,2021-01-15

[24]

二维位移测量的装置 [P].

卢振武 ;

刘华 ;

党博石 ;

孙强 .

中国专利 :CN103033141A ,2013-04-10

[25]

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20

[26]

一种二维孔洞阵列光栅及光栅尺位移测量系统 [P].

周斌 ;

贾伟 ;

孙鹏 ;

王津 ;

刘炜程 ;

周常河 .

中国专利 :CN112034545B ,2020-12-04

[27]

零差一维光栅位移测量装置 [P].

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

李文昊 ;

刘兆武 ;

王玮 .

中国专利 :CN112484646A ,2021-03-12

[28]

一种使用双频激光和衍射光栅的二维位移测量装置 [P].

谭久彬 ;

陆振刚 ;

魏培培 .

中国专利 :CN104596424A ,2015-05-06

[29]

基于二维光栅的多自由度位移测量系统 [P].

刘红忠 ;

史永胜 ;

尹磊 ;

陈邦道 .

中国专利 :CN211668441U ,2020-10-13

[30]

基于二维光栅的多自由度位移测量系统 [P].

刘红忠 ;

史永胜 ;

尹磊 ;

陈邦道 .

中国专利 :CN111174714B ,2025-05-16

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