用于钼的化学蚀刻溶液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510044853.6

申请日：

2005-09-21

公开(公告)号：

CN100376721C

公开(公告)日：

2006-03-08

发明(设计)人：

徐海波王佳王伟姜应律王燕华

申请人：

申请人地址：

266003山东省青岛市市南区鱼山路5号

IPC主分类号：

C23F126

IPC分类号：

代理机构：

青岛海昊知识产权事务所有限公司

代理人：

崔清晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-03-26	授权	授权
2009-11-18	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-03-08	公开	公开

共 50 条

[1]

用于铝及铝合金的化学蚀刻溶液 [P].

徐海波 ;

王佳 ;

姜应律 ;

王伟 ;

王燕华 .

中国专利 :CN1743507A ,2006-03-08

[2]

用于多层铜和钼的蚀刻溶液及使用该蚀刻溶液的蚀刻方法 [P].

金圣秀 ;

崔容硕 ;

曹奎哲 ;

蔡基成 ;

权五南 ;

李坰默 ;

黄龙燮 ;

李承庸 .

中国专利 :CN1510169A ,2004-07-07

[3]

用于钛及钛合金的化学蚀刻溶液 [P].

徐海波 ;

王佳 ;

姜应律 ;

王伟 ;

王燕华 .

中国专利 :CN1743508A ,2006-03-08

[4]

一种用于金属钼片的化学蚀刻方法 [P].

连大学 .

中国专利 :CN104060267A ,2014-09-24

[5]

钼膜的化学蚀刻 [P].

P·罗梅罗 ;

C·德泽拉 ;

D·皮尤米 .

:CN119725091A ,2025-03-28

[6]

用于选择性蚀刻钛的化学蚀刻溶液及方法 [P].

M·奥杜安 ;

J·达维奥 ;

J·安德烈 ;

P·韦尔南 ;

C·皮泽蒂 .

法国专利 :CN120787373A ,2025-10-14

[7]

用于铝及铝合金的化学蚀刻溶液 [P].

林知本 ;

吴年江 ;

曹庆松 ;

李南海 .

中国专利 :CN101205614A ,2008-06-25

[8]

用于碱性蚀刻溶液且尤其是用于纹理蚀刻溶液的添加剂及其制备方法 [P].

杰恩斯·库因伯格 ;

艾哈尔·米尔因克 ;

米歇尔·迈切尔 ;

米歇尔·施米特 .

中国专利 :CN102695778A ,2012-09-26

[9]

用于碱性蚀刻溶液尤其是纹理蚀刻溶液的添加剂及其制备方法 [P].

艾哈尔·米尔因克 ;

杰恩斯·库因伯格 ;

米歇尔·施米特 ;

米歇尔·迈切尔 .

中国专利 :CN102217047A ,2011-10-12

[10]

用于化学蚀刻硅的方法 [P].

G·巴贾杰 ;

R·帕蒂尔 ;

P·古拉迪雅 ;

R·J·维瑟 .

中国专利 :CN109314051A ,2019-02-05

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