用于选择性蚀刻钛的化学蚀刻溶液及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480015684.4

申请日：

2024-03-01

公开(公告)号：

CN120787373A

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

M·奥杜安 J·达维奥 J·安德烈 P·韦尔南 C·皮泽蒂

申请人：

法国技术公司

申请人地址：

法国圣丹尼市

IPC主分类号：

H01L21/3213

IPC分类号：

C23F1/26 H01L21/311

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟;张家宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/3213申请日:20240301
2025-10-14	公开	公开

共 50 条

[1]

用于钛及钛合金的化学蚀刻溶液 [P].

徐海波 ;

王佳 ;

姜应律 ;

王伟 ;

王燕华 .

中国专利 :CN1743508A ,2006-03-08

[2]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

宋凌雁 .

中国专利 :CN105683336A ,2016-06-15

[3]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

宋凌雁 .

中国专利 :CN111394100A ,2020-07-10

[4]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

斯蒂芬·里皮 ;

宋凌雁 ;

许家荣 ;

涂胜宏 ;

王界入 .

中国专利 :CN105102584B ,2015-11-25

[5]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

杰弗里·A·巴尼斯 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

里卡·拉贾拉姆 ;

涂胜宏 .

中国专利 :CN104145324A ,2014-11-12

[6]

选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

埃马纽尔·I·库珀 ;

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

许家荣 ;

涂胜宏 ;

王界入 .

中国专利 :CN105492576A ,2016-04-13

[7]

用于钼的化学蚀刻溶液 [P].

徐海波 ;

王佳 ;

王伟 ;

姜应律 ;

王燕华 .

中国专利 :CN100376721C ,2006-03-08

[8]

通过化学蚀刻去除选择性沉积缺陷 [P].

杰弗里·W·安西斯 ;

柯常 ;

普拉瑟姆·杰恩 ;

本杰明·施密格 ;

蹇国强 ;

迈克尔·S·杰克逊 ;

周磊 ;

伯·F·马 ;

吴立其 .

中国专利 :CN110622284A ,2019-12-27

[9]

选择性蚀刻材料的改进 [P].

王界入 ;

吴幸臻 ;

许家荣 .

中国专利 :CN112384597A ,2021-02-19

[10]

用于多层铜和钼的蚀刻溶液及使用该蚀刻溶液的蚀刻方法 [P].

金圣秀 ;

崔容硕 ;

曹奎哲 ;

蔡基成 ;

权五南 ;

李坰默 ;

黄龙燮 ;

李承庸 .

中国专利 :CN1510169A ,2004-07-07

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