用于多层铜和钼的蚀刻溶液及使用该蚀刻溶液的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310118526.1

申请日：

2003-12-12

公开(公告)号：

CN1510169A

公开(公告)日：

2004-07-07

发明(设计)人：

金圣秀崔容硕曹奎哲蔡基成权五南李坰默黄龙燮李承庸

申请人：

申请人地址：

韩国汉城

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 H01L2128 H01L21306 H01L2144 H01L21465

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国;陈红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-06-03	授权	授权
2006-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-07-07	公开	公开

共 50 条

[1]

蚀刻溶液组合物和使用该蚀刻溶液组合物的湿蚀刻方法 [P].

金铉卓 ;

林廷训 ;

李昌一 ;

宋忠植 ;

李珍旭 .

中国专利 :CN104039925A ,2014-09-10

[2]

用于蚀刻铜和回收废蚀刻溶液的方法 [P].

哈拉尔德·奥特图思 .

中国专利 :CN101688315B ,2010-03-31

[3]

蚀刻溶液和蚀刻方法 [P].

彼得·法斯 ;

艾哈尔·米尔因克 .

中国专利 :CN101622697A ,2010-01-06

[4]

用于钼的化学蚀刻溶液 [P].

徐海波 ;

王佳 ;

王伟 ;

姜应律 ;

王燕华 .

中国专利 :CN100376721C ,2006-03-08

[5]

包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

渊上真一郎 ;

鬼头佑典 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106255777A ,2016-12-21

[6]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[7]

用于铜钼金属膜层的蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109023370A ,2018-12-18

[8]

一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法 [P].

李涛 ;

章佳寅 ;

徐杨 ;

沈夏军 ;

顾梦佳 ;

任奕宇 ;

朱龙 .

中国专利 :CN117737733A ,2024-03-22

[9]

用于铜/钼膜层的金属蚀刻液及其蚀刻方法 [P].

武岳 ;

雍玮娜 .

中国专利 :CN106498398A ,2017-03-15

[10]

用于蚀刻铜与钼的金属蚀刻剂组合物及其用于蚀刻铜与钼的金属蚀刻方法 [P].

罗致远 ;

吴光耀 ;

黄若涵 ;

廖怡颖 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104278274A ,2015-01-14

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