一种真空镀膜设备的供气装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020797231.0

申请日：

2020-05-14

公开(公告)号：

CN212451605U

公开(公告)日：

2021-02-02

发明(设计)人：

曹中华何志飞陈仕俊

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道新和社区新兴工业园三区一期7号2层东边

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

代理机构：

重庆卓茂专利代理事务所(普通合伙) 50262

代理人：

许冲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜设备用供气装置 [P].

张基伟 ;

夏晓谦 .

中国专利 :CN221877165U ,2024-10-22

[2]

一种真空镀膜设备用供气装置 [P].

樊虎 ;

徐庆歌 .

中国专利 :CN217809623U ,2022-11-15

[3]

真空镀膜双路供气装置 [P].

冯新伟 .

中国专利 :CN203421491U ,2014-02-05

[4]

一种真空镀膜用供气装置 [P].

吴科宁 .

中国专利 :CN222665983U ,2025-03-25

[5]

一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P].

刘洁雅 .

中国专利 :CN202148346U ,2012-02-22

[6]

一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P].

吕清水 .

中国专利 :CN217499396U ,2022-09-27

[7]

一种基于不间断输气的真空镀膜设备用供气装置 [P].

胡超辉 ;

胡朝辉 ;

康兵 ;

曹黎 ;

刘海英 .

中国专利 :CN222821630U ,2025-05-02

[8]

一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备 [P].

李王俊 ;

张斌 ;

徐文涛 ;

刘亚南 ;

房现飞 ;

王朝 .

中国专利 :CN217536149U ,2022-10-04

[9]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[10]

真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备 [P].

王志海 ;

邝斌 ;

陈金良 ;

齐鹏飞 ;

赖新暖 .

中国专利 :CN213624365U ,2021-07-06

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