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一种真空镀膜设备用供气装置

被引：0
申请号：
CN202221628093.9
申请日：
2022-06-27
公开(公告)号：
CN217809623U
公开(公告)日：
2022-11-15
发明(设计)人：
樊虎 徐庆歌
申请人：
申请人地址：
710200 陕西省西安市高陵区渭阳四路不锈钢市场17-18排13-17号
IPC主分类号：
C23C1400
IPC分类号：
代理机构：
南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
代理人：
袁夫文
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-15 授权 授权
共 50 条
[1]
一种真空镀膜设备用供气装置 [P]. 
张基伟 ;
夏晓谦 .
中国专利 :CN221877165U ,2024-10-22
[2]
一种真空镀膜设备的供气装置 [P]. 
曹中华 ;
何志飞 ;
陈仕俊 .
中国专利 :CN212451605U ,2021-02-02
[3]
一种真空镀膜设备用冷却装置 [P]. 
尹刚 ;
张华静 .
中国专利 :CN213835515U ,2021-07-30
[4]
一种基于不间断输气的真空镀膜设备用供气装置 [P]. 
胡超辉 ;
胡朝辉 ;
康兵 ;
曹黎 ;
刘海英 .
中国专利 :CN222821630U ,2025-05-02
[5]
真空镀膜双路供气装置 [P]. 
冯新伟 .
中国专利 :CN203421491U ,2014-02-05
[6]
真空镀膜设备用抽真空装置 [P]. 
孙婧 ;
李卫东 ;
同建辉 .
中国专利 :CN205473968U ,2016-08-17
[7]
一种真空镀膜设备用抽真空装置 [P]. 
杨林生 .
中国专利 :CN216155959U ,2022-04-01
[8]
一种真空镀膜用供气装置 [P]. 
吴科宁 .
中国专利 :CN222665983U ,2025-03-25
[9]
一种真空镀膜设备用清洗装置 [P]. 
胡宇杰 .
中国专利 :CN215391296U ,2022-01-04
[10]
一种真空镀膜设备用夹具 [P]. 
陈春奇 ;
陈卓 ;
许进 ;
周强 .
中国专利 :CN215404489U ,2022-01-04
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