一种真空镀膜设备用供气装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420413127.5

申请日：

2024-03-04

公开(公告)号：

CN221877165U

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

张基伟夏晓谦

申请人：

艾姆西艾（宿迁）电池技术有限公司

申请人地址：

223800 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区深圳路1588号3幢

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

代理机构：

宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264

代理人：

刘慧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜设备用供气装置 [P].

樊虎 ;

徐庆歌 .

中国专利 :CN217809623U ,2022-11-15

[2]

一种真空镀膜设备的供气装置 [P].

曹中华 ;

何志飞 ;

陈仕俊 .

中国专利 :CN212451605U ,2021-02-02

[3]

一种基于不间断输气的真空镀膜设备用供气装置 [P].

胡超辉 ;

胡朝辉 ;

康兵 ;

曹黎 ;

刘海英 .

中国专利 :CN222821630U ,2025-05-02

[4]

真空镀膜双路供气装置 [P].

冯新伟 .

中国专利 :CN203421491U ,2014-02-05

[5]

真空镀膜设备用抽真空装置 [P].

孙婧 ;

李卫东 ;

同建辉 .

中国专利 :CN205473968U ,2016-08-17

[6]

一种真空镀膜设备用抽真空装置 [P].

杨林生 .

中国专利 :CN216155959U ,2022-04-01

[7]

一种真空镀膜用供气装置 [P].

吴科宁 .

中国专利 :CN222665983U ,2025-03-25

[8]

一种真空镀膜设备用冷却装置 [P].

尹刚 ;

张华静 .

中国专利 :CN213835515U ,2021-07-30

[9]

一种真空镀膜设备用清洗装置 [P].

胡宇杰 .

中国专利 :CN215391296U ,2022-01-04

[10]

一种真空镀膜设备用夹具 [P].

陈春奇 ;

陈卓 ;

许进 ;

周强 .

中国专利 :CN215404489U ,2022-01-04

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